SEMISTAR-VD95D
简介
适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人！
主要参数
| 机器人型号： | SEMISTAR-VD95D |
| 构造： | 水平多关节形(4个自由度) |
| 动态范围： | 2300mm |
| 负载： | 95kg/手臂 |
| 本体质量： | 1500kg |
| 重复定位精度： | ±0.3mm |
| 用途： | 搬运、洁净室 |
特点
大动作范围：最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。