SEMISTAR-MR124

简介

适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版，引领业界的高性能！供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

主要参数

机器人型号： SEMISTAR-MR124
驱动轴数： 5
动态范围： 1215mm
用途： 搬运、半导体

特点


大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率。
高速搬运：300枚/小时
适用：300mm-450mm晶片搬运